英特格核心围绕半导体微污染控制、高纯流体 / 气体管理、特种工艺材料、晶圆载具防护四大方向，分为两大业务板块：APS 先进纯度解决方案（硬件、过滤、载具、流体输送）、MS 材料解决方案（化学品、CMP、ALD/CVD 前驱体）。
一、过滤与纯化产品（APS 板块，核心耗材）
1、液体过滤器 Impact® 系列（Impact 8G/Duo）
用途：光刻胶、光化学溶剂、高纯湿法化学品终端过滤，用于先进逻辑、EUV 光刻节点
核心特点
可实现1nm 级颗粒截留，Oktolex™膜改性技术，高截留同时低压降
极低颗粒脱落、金属析出、可溶物析出，抑制凝胶缺陷、微桥
抗强酸碱有机溶剂，适配 2nm‑28nm 先进制程；减少微气泡，提升良率
终端点式过滤，直接安装在机台使用端。
2、气体过滤器与纯化器
用途：特种气体、大宗工艺气体（氩、氮、氨气等）去除颗粒、水汽、金属杂质
特点：去除 ppb 级杂质；耐高温、抗腐蚀；适配 ALD、刻蚀、离子注入；满足先进节点气体纯度要求。
3、Purasol™溶剂纯化器
用途：光刻配套有机溶剂，去除溶解态 / 胶体金属杂质
特点：不消耗溶剂，在线纯化，降低晶圆金属污染缺陷，减少光刻胶报废。
二、流体输送与分配系统（APS 板块）
1、IntelliGen® 光刻胶输送分配系统
用途：光刻 Track 机台，精准输送光刻胶、显影液
特点
两段式独立过滤 + 分配架构，过滤与出料解耦，避免压差增大把杂质挤过滤膜
快速免工具更换滤芯，自动循环除气泡，减少光刻胶浪费
全部接触介质为 PTFE，耐强腐蚀；占用机台空间小。
2、高纯化学输送组件
包含阀门、管件、储罐、取样模块；极低死区、低析出，避免管路产生颗粒，用于工厂化学品到机台全链路高纯输送。
三、特种气体安全输送系统（APS 板块）
SDS®/PDS® 负压气源系统（Safe Delivery Source）
用途：剧毒、腐蚀性特种气体（离子注入、刻蚀用），如砷烷、磷烷等
特点
亚大气压负压储存，钢瓶泄漏不会向外喷射毒气，极大提升工厂安全
吸附介质固态储存，不是高压钢瓶；可稳定输出工艺所需流量
降低气体泄漏爆炸风险，广泛用于离子注入工艺。
四、晶圆 / 掩膜版载具与微环境防护（APS 板块）
1、Spectra™ FOUP（300mm 晶圆前开式晶圆盒）
用途：晶圆厂内部机台之间晶圆流转
特点
密闭微环境，同时控制颗粒、VOC、氧气、湿度 RH；防静电、避光
疏水低析出高分子材料，不易吸附水汽有机物；易清洗烘干
高度自动化兼容，适配 Fab 机械手，减少搬运造成的颗粒缺陷，直接影响良率。
2、FOSB、SmartStack® HWS 晶圆运输盒（FOSB 晶圆对外运输箱）
用途：晶圆厂之间跨厂区出货、成品晶圆对外运输
特点
SmartStack 为非接触式水平存放，晶圆互相不接触，避免表面划伤
抗冲击减震、防静电；抑制离子污染、VOC 析出；兼容自动化装卸。
3、光罩盒（Reticle Pod）
保护光刻掩膜版，隔绝颗粒、湿气、有机污染，EUV 光罩配套高端型号对微环境控制要求极高。
4、SUPERSiC® 碳化硅部件
用途：高温炉管、扩散工艺的晶圆舟、挡板、拾取工具
特点：高纯碳化硅，高温下低释气、颗粒少；热质量更小，热均匀性好，可定制尺寸。
五、MS 材料解决方案（特种化学品、工艺耗材）
1、CMP 抛光液 & 抛光垫（收购 CMC Materials 获得）
抛光液 Slurry：用于逻辑 / 存储、第三代半导体 SiC/GaN 抛光；铜、钨、介电层、硬掩模专用配方；控制去除速率、选择比、表面缺陷。
抛光垫 Pad：配合抛光液实现晶圆全局平坦化；控制孔隙结构、硬度，直接影响晶圆表面粗糙度与缺陷密度。
2、刻蚀后、CMP 后清洗化学品 TitanKlean®、PlanarClean®Entegris
用途：刻蚀后残渣去除、硬掩模剥离、CMP 后晶圆清洗
特点：配方型化学试剂；可选择性腐蚀，保护铜、钴、钌、高 k 介质等敏感薄膜；抑制金属腐蚀；减少表面颗粒与有机残留。
3、ALD/CVD 前驱体（沉积材料）s205.q4cdn...
用途：薄膜沉积，高 k 栅介质、金属栅、阻挡层等
特点：超高纯度金属有机源；批次一致性好，杂质极低；适配先进逻辑、3D NAND。
4、离子注入特种气体
用于半导体掺杂；高纯度，精准组分控制，适配高压离子注入工艺。
英特格产品共同核心能力总结
聚焦污染控制：从气体、液体到晶圆载体全链路管控颗粒、金属离子、VOC、水汽；面向 2‑7nm 先进节点。
硬件 + 耗材 + 配方化学品协同：不只卖过滤器或盒子，而是整套 “从化学品进厂到晶圆机台” 的污染控制方案。
良率导向：所有产品的核心价值是降低晶圆缺陷，提升芯片良率，而不只是基础输送、过滤。
高端产品壁垒：材料配方、膜材料、高分子载具配方、前驱体提纯工艺，属于半导体关键卡脖子配套。
