将 200 mm 晶圆安全地固定在方便易用的封装中。
将一个晶圆面朝上或面朝下固定在仅接触晶圆边缘的锥形口袋中；
位置便利的镊子槽便于晶圆处理；
双闩锁提供安全关闭和轻松打开；
可堆叠，可有效利用存储空间；
透明聚碳酸酯结构无需打开即可进行目视检查，保持晶圆完整性；
设计符合 SEMI 标准晶圆。
Entegris 200 mm Solopak® 单晶圆托运机，Z200-0203
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Entegris 200 mm Solopak® 单晶圆托运机，Z200-0203
详细信息 将 200 mm 晶圆安全地固定在方便易用的封装中。
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